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產(chǎn)品系列

圓筒型真空腔體
方型真空腔體
特材真空腔體
哈氏合金腔體
鎳基合金腔體
純鎳腔體
哈氏合金反應(yīng)釜
鎳基合金反應(yīng)釜
純鈦反應(yīng)釜
特材反應(yīng)釜
真空配件

聯(lián)系方式

聯(lián)系人：許先生

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郵　箱：xu@wxguode.com 地　址：無錫市濱湖區(qū)南湖社區(qū)寺前村

真空腔體的概述

這種真空腔體是為減少了半導(dǎo)體應(yīng)用中真空腔的個(gè)數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量不變。這種結(jié)構(gòu)采用了配備有壓差真空凹槽的預(yù)置空氣軸承的移動(dòng)真空。產(chǎn)品的特點(diǎn)是機(jī)臺(tái)定位的靜態(tài)、動(dòng)態(tài)響應(yīng)，抽氣時(shí)間、穩(wěn)定時(shí)間縮短等等。
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2019/06/17 11:14:46 3813 次

真空擴(kuò)散泵機(jī)組的特點(diǎn)和應(yīng)用

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真空腔體的概述