真空系統(tǒng)的簡單介紹及部分名詞
真空系統(tǒng)其實就是真空機組的一個類似的稱呼，真空機組是由幾種真空泵組合而成的一套閉環(huán)真空設(shè)備，它不見得有一些諸如散熱器，冷凝器等等設(shè)備存在。而一般能稱為真空系統(tǒng)是各部件全。真空應(yīng)用設(shè)備種類繁多，但無論何種真空應(yīng)用設(shè)備都有一套排查被抽容器內(nèi)氣體的抽氣系統(tǒng)，以便在真空容器內(nèi)獲得所需要的真空條件。舉例來說：一個真空處理用的容器，用管道和閥門將它與真空泵連接起來，當(dāng)真空泵對容器進行抽空時，容器上要有真空測量裝置，這就構(gòu)成了一個簡單的真空抽氣系統(tǒng)。那么真空系統(tǒng)相比較于機組來說有多少泵組成呢？我們先來認識一下可能存在的泵的名詞解釋。
主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來符合特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。
粗抽泵：從空氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。
維持泵：在真空系統(tǒng)中，氣量很小時，不能利用前泵。為此配置一種容量較小的泵來維持主泵工作，此泵叫維持泵。如擴散泵出口處配一臺小型旋片泵，就是維持泵。
簡單的真空系統(tǒng)只是能獲得一個粗真空，而想要獲得高真空時，通常在真空系統(tǒng)中串聯(lián)一個高真空泵，比如羅茨泵和螺桿泵等都是獲得高真空的泵。當(dāng)串聯(lián)一個高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分別加上閥門，以便高真空泵能單獨保持真空。認為如果所串聯(lián)的高真空泵是一個油擴散泵，為了不讓大量的油蒸氣返流進入被抽容器，通常在油擴散泵的入口加一個捕集器——水冷障板。根據(jù)要求，還可以在管路中加上除塵器、真空繼電器規(guī)頭、真空軟連接管道、真空泵入口放氣閥，散熱器等等，這樣就構(gòu)成了一個較完善的高真空系統(tǒng)。
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